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北京愛諾儀表科技有限公司

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品牌/商標(biāo)：yokogawa
企業(yè)類型：制造商
新舊程度：全新
原產(chǎn)地：重慶

先進(jìn)的工作原理

圖1　硅諧振梁的結(jié)構(gòu)

采用微電子加工技術(shù)（MEMS)在一個(gè)單晶硅芯片表面的中心和邊緣制作兩個(gè)形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的Ｈ形狀的諧振梁，諧振梁在自激振蕩回路中作高頻振蕩（如圖1）。單晶硅片的上下表面受到的壓力不等時(shí)，將產(chǎn)生形變，導(dǎo)致中心諧振梁因壓縮力而頻率減小，邊緣諧振因受拉伸力而頻率增加（如圖２）。
兩頻率之差信號(hào)直接送到CPU進(jìn)行數(shù)據(jù)處理，然后（１）經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換成4-20mA輸出信號(hào)，通訊時(shí)疊加Brain或Hart數(shù)字信號(hào)；（２）直接輸出符合現(xiàn)場(chǎng)總線（Fieldbus Foundation TM）標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)字信號(hào)。

圖２　諧振式傳感器頻率輸出

優(yōu)異的性能

靜壓影響忽略不計(jì)
當(dāng)加有靜壓（工作壓力）時(shí)，兩形狀、尺寸、材質(zhì)完全一致的諧振梁形變相同，故頻率變化也一致，故偏差自動(dòng)清除（公式和圖類似溫度影響）。
單向過壓特性優(yōu)異
接液膜片與膜盒本體采用的波紋加工技術(shù)，使外部壓力增大到某一數(shù)值時(shí)，接液膜片能與本體完全接觸，硅油傳遞給傳感器的壓力不再隨外力的增加而增加，從而達(dá)到對(duì)傳感器的保護(hù)作用。（圖4）、（圖5）所示為ＥＪＡ過壓特性。

圖5　對(duì)于過壓的長(zhǎng)期穩(wěn)定性

圖6　長(zhǎng)期穩(wěn)定性

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