縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率

自動(dòng)聚焦附件MX-AF

透射光檢查照明MX-TILLA/MX-TILLB

MX專用的自動(dòng)聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場(chǎng)和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和的自動(dòng)對(duì)焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。

兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現(xiàn)投射光簡(jiǎn)易偏光觀察。

高反差，更高分辨率，更高倍率檢查

用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式

共聚焦附件U-CFU

熒光分光鏡模塊

共聚焦光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.18μm,并可對(duì)多層線條的器件分層對(duì)焦，獲得高分辨率，高反差的共焦圖像。

備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。

方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得RS232C

用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查近紅外線觀察附件

MX61/MX61L標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動(dòng)部分成為可能，并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺(tái)顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。

包括專門的紅外物鏡等附件，對(duì)從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實(shí)現(xiàn)對(duì)WAFER BUMP的全面檢查。