德國Kleindiek Nanotechnik生產的納米顯微線性平臺是在納米馬達的基礎上構建的產品,可選XY軸或XYZ軸移動,同樣能夠保證納米級移動和毫米級的移動范圍,整個操縱裝置全部由納米馬達驅動,從而保證了系統(tǒng)體積非常小,可以很容易地放入電子顯微鏡腔室內。平臺可以安裝的環(huán)境包括大氣環(huán)境、真空環(huán)境、超高真空環(huán)境及液氮低溫環(huán)境。
技術參數(shù):
型號外形尺寸
長/寬/高mmXY軸行程Z軸行程大氣高真空超高真空液氮低溫
LT3310XY33 /33 /11.610mm0mm√√xx
LT3310XYZ33 /33 /3010mm7mm√√xx
LT3310XY-UHV33 /33 /11.610mm0mm√√√x
LT3310XYZ-UHV33 /33 /3010mm7mm√√√x
LT3310XY-LT33 /33 /11.610mm0mm√√√√
LT3310XYZ-LT33 /33 /3010mm7mm√√√√
LT6620XY66 /66 /2620mm0mm√√xx
LT6620XYZ66 /66 /5020mm15mm√√xx
LT6620XY-UHV66 /66 /2620mm0mm√√√x
LT6620XYZ-UHV66 /66 /5020mm15mm√√√x
LT6620XY-LT66 /66 /2620mm0mm√√√√
LT6620XYZ-LT66 /66 /5020mm15mm√√√√
LT6820XEYE
XY軸帶反饋信號68 /68 /2620mm0mm√√xx
LT6820XEYEZ
XY軸帶反饋信號68 /68 /5020mm15mm√√xx
LT6820XEYEZE
XYZ軸帶反饋信號68 /68 /5020mm15mm√√xx
LT6820XEYE-UHV
XY軸帶反饋信號68 /68 /2620mm0mm√√√x
LT6820XEYEZ-UHV
XY軸帶反饋信號68 /68 /5020mm15mm√√√x
LT6820XEYEZE-UHV
XYZ軸帶反饋信號68 /68 /5020mm15mm√√√x
LT12830X2EY2E
XY軸帶雙向反饋信號128 /128 /5030mm0mm√√x
主要特點:
結構小巧移動靈活
•結構小巧實用性強
•即插即用
•多種附件可用于擴展功能
高穩(wěn)定高可靠
•超穩(wěn)定、低漂移 (1 nm/min)
•高可靠性 (15Km可靠性實驗)
•不受震動影響
•可手動預置初始位置
超高與快速移動兼?zhèn)?br>•無后座力及無漂移
•0.25 nm/步進的移動
•在同驅動中兼具高、低移動
•快移動速度(1mmm/sec)





