4.金、銀、銀鋁合金電極:
金電極晶控片(晶振片)適合大部分的應(yīng)用,它具有低接觸電阻,高化學溫定性。金電極晶控片(晶振片)適合于低應(yīng)力材料的鍍膜監(jiān)控,如金,銀,銅的膜厚控制。
銀電極有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。銀電極晶控片(晶振片)適合在熱負荷高的工藝(如濺射)中提供優(yōu)越的性能。
銀鋁合金晶控片(晶振片),適合高應(yīng)力膜料的鍍膜監(jiān)控,如SiO,SiO2,MgF2,TiO2等。
5.100%測試和檢驗:
為限度地提高晶控片(晶振片)的使用壽命、穩(wěn)定而準確的沉積速率控制,每個晶控片(晶振片)都經(jīng)過如下檢查:
1)。阻抗——阻抗的檢查有助于保證測量的穩(wěn)定性和晶控片(晶振片)的使用壽命。阻抗指標體現(xiàn)了晶控片的電接觸性和電極粘連度。
2)。頻率——確保起始頻率在較小范圍內(nèi),有助于確保您準確的厚度測量。
3)。曲率——曲率的測試,是為了保證共振的穩(wěn)定性,差勁的曲率將降低晶控片(晶振片)測量過程的穩(wěn)定性。
4)。外觀檢測——每個晶體的電極均勻性、表面缺陷、以及其他的外觀缺陷都得到檢查,從而排除了較差的電極粘連性和可能的污染。









