- 測(cè)量范圍：
- 100mm±10%×200mm±10%
鋁膜測(cè)試儀利用渦流原理制造: 即被測(cè)蒸鋁層靠近高頻激磁磁場(chǎng)時(shí), 感應(yīng)產(chǎn)生渦電流, 因而產(chǎn)生渦流磁場(chǎng), 此渦流磁場(chǎng)反作用于原來(lái)激磁磁場(chǎng), 使傳感器阻抗發(fā)生變化, 然后通過(guò)檢測(cè)電路并進(jìn)行放大, 輸出與厚度相對(duì)應(yīng)模擬電壓。 為了減少漂移即減少重復(fù)性誤差和提高測(cè)量準(zhǔn)確度，本儀器應(yīng)用智能功能單片機(jī)系統(tǒng)，即對(duì)測(cè)厚過(guò)程中非線性和零漂進(jìn)行校正，因而提高了測(cè)量準(zhǔn)確度。 ≡ 技術(shù)參數(shù) ≡ 可測(cè)量范圍與量程: 被測(cè)薄膜尺寸 100mm±10%×200mm±10% 測(cè)量量程 厚度90～800Å （0.009～0.08µm） 方阻95～0.47Ω/□ 度： 測(cè)量準(zhǔn)確度 厚度 ±(20Å+2%讀數(shù)) 方阻 ±0.15Ω/□（在300～500Å范圍） 讀數(shù)重現(xiàn)性 10Å (同一測(cè)量點(diǎn))
