日立超聲波映像裝置  

能夠的反映出超聲波和樣品的彈性介質(zhì)的相互作用，并對(duì)從樣品內(nèi)部反饋回來(lái)的信號(hào)進(jìn)行分析。它被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

（1）高，高分辨率：高超聲波組件和高超聲波掃描組合，微小的缺陷也不會(huì)漏測(cè)，搭載頻率達(dá)500MHz寬帶的，高靈敏度超聲波組件，并通過組合高掃描機(jī)實(shí)現(xiàn)小間距0.5μm。

 （2）快速，高速大量檢查：可以在短時(shí)間內(nèi)方便地測(cè)量高可靠性的數(shù)據(jù)。配備掃描速度1，000mm/s的掃描機(jī)及連續(xù)自動(dòng)取得，高速測(cè)量功能等能在更短時(shí)間內(nèi)測(cè)量的工具。單擊圖像索引便能進(jìn)行測(cè)量，能迅速進(jìn)行評(píng)估和判定。

 （3）深，多樣：各種分析軟件不斷發(fā)展，波形，強(qiáng)度，深度等超聲波數(shù)據(jù)的分析軟件不斷發(fā)展，高頻率，透射法測(cè)頭等測(cè)量工具也更加豐富。

  (4) 操作性，安全性：兩側(cè)的大型窗。LED照明，測(cè)頭識(shí)別功能（根據(jù)機(jī)型標(biāo)準(zhǔn)配備），電源開關(guān)的保護(hù)蓋，前面透明面板的可裝卸化和設(shè)置傳感器等，注重使用便利性和安全性。

       二：更簡(jiǎn)單的進(jìn)行高速高的測(cè)量和分析。

1.滿足高度需求的高分辨率SAT：通過組合頻率達(dá)500MHz的高靈敏度組件 ，高掃描機(jī)和日立開發(fā)的高分辨率測(cè)頭，即使是細(xì)微的縫隙也能檢測(cè)出。

2.從大范圍到極小范圍，包羅多鐘試件：實(shí)現(xiàn)小掃描間距為0.5μm的高測(cè)量，在測(cè)量中就能以微小間距對(duì)硅片，JEDEC托盤等進(jìn)行大范圍測(cè)量。并包羅了從厚物到薄物的范圍廣泛的測(cè)量對(duì)象，測(cè)頭種類豐富，備有從低頻到高頻的各種測(cè)頭，透射法測(cè)量的也更高。

三：從設(shè)定到計(jì)測(cè)，分析，評(píng)估，友好的用戶功能實(shí)現(xiàn)高，快速

1.更好更方便地活的可靠性更高的數(shù)據(jù)：通過采用高速，高掃描機(jī)和新型圖像處理組件，能在短時(shí)間（與我公司以前相比30mm方IC約縮短35%）內(nèi)獲得高的數(shù)據(jù)，根據(jù)已登記好的條件進(jìn)行測(cè)量的圖像索引功能呢個(gè)，自動(dòng)連續(xù)測(cè)量多個(gè)試件的網(wǎng)絡(luò)掃描功能，以及中心位置和試件高度自動(dòng)補(bǔ)償功能，提高了數(shù)據(jù)的可靠性，主體開口部更寬敞，利用對(duì)升降機(jī)機(jī)構(gòu)（選項(xiàng)），能方便地進(jìn)行試件更換。

     日立提供滿足各種用戶需求的硬件和軟件。

1利用更先進(jìn)的分析軟件實(shí)現(xiàn)詳細(xì)的評(píng)估分析：進(jìn)一步發(fā)展了波形分析，計(jì)測(cè)，剝離判定，深度信息等的分析軟件。能實(shí)時(shí)進(jìn)行+—相位，強(qiáng)度，深度數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)比較，波形重疊顯示時(shí)即使是不同的時(shí)間軸也能自動(dòng)調(diào)整時(shí)間軸，并能保存，并利用的像素間插值處理和自動(dòng)對(duì)比等，能方便的獲得更易查看的數(shù)據(jù)，在讀取全點(diǎn)波形的實(shí)時(shí)3D功能和多門功能中，多能設(shè)定64個(gè)門，標(biāo)準(zhǔn)配備門內(nèi)數(shù)據(jù)的同時(shí)保存和圖像數(shù)據(jù)的單文件化（tiff).

2.各種擴(kuò)展性：（1）豐富的測(cè)頭陣容：從低頻到高頻，備有符合各種測(cè)量條件的70多種測(cè)頭。（2）適應(yīng)多樣化的試件：利用水槽的升降機(jī)功能，更換試件時(shí)不會(huì)弄濕手。能同時(shí)利用反射法進(jìn)行測(cè)量，通過使用透射法測(cè)頭，能同時(shí)利用反射法和透射法進(jìn)行測(cè)量和圖像化。（3）周邊設(shè)備：還備有提高高頻靈敏度的溫度調(diào)節(jié)組件和雙監(jiān)視器。

3.開口部更寬敞，注意安全性：考慮到試件的放入取出，開口部寬敞，直至上方。在開口部的整個(gè)區(qū)域內(nèi)設(shè)置區(qū)域傳感器，并標(biāo)準(zhǔn)配備急停按鈕，漏水傳感器，門傳感器，按鍵開關(guān)等安全機(jī)構(gòu)。FS200，FS300還具有測(cè)頭自動(dòng)識(shí)別功能。

4.滿足各種作業(yè)需求：滿載易于固定試件的磁性板，日常檢查不可或缺的標(biāo)準(zhǔn)試片等日立裝置。并配備維修套件，供水罐等，在軟件方面也設(shè)置了輔助功能等，滿足用戶的作業(yè)需求，。

5.追求使用便利性和安全性：通過兩側(cè)的大型窗。LED照明，測(cè)頭識(shí)別功能，電源開關(guān)的保護(hù)蓋，前面透明面板的可裝卸化和設(shè)置傳感器，更便于使用，而且利用測(cè)頭的自動(dòng)識(shí)別功能能防止因誤設(shè)定而損壞測(cè)頭。