- 產(chǎn)品品牌：
- 羲和
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份（簡稱：主機）、測試架、四探針頭及測量軟件組成。配備計算機后，可對測試結(jié)果進行打印、存儲。
功能特點
本套儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的）適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時掌控測量電流。主機還提供為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。主機配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。主機配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準確度。本套儀器使用專用軟件進行數(shù)據(jù)采集,可實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值，值、小值、百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
技術(shù)參數(shù)
測量范圍
■ 可測方塊電阻：0.001～1.9*105Ω·□
探針
■ 使用幾何尺寸十分的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準確。
■ 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，保證探針的小游移率。
■ 采用特制的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有獨立、準確的壓力。
■ 量具的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運動，持久耐磨。
恒流源
■ 輸出電流：DC 0.001～100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
■ 量程：
0.001～0.01mA
0.01～0.10mA
0.10～1.0mA
1.0～10mA
10～100mA
■ 恒流：各檔均低于±0.05%
直流數(shù)字電壓表
■ 測量范圍：0～199.99mV
■ 靈敏度：10μV
■ 基本誤差：±（0.004%讀數(shù)+0.01%滿度）
■ 輸入阻抗：≥1000ΩM
供電電源
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率：12W
使用環(huán)境
■ 溫度：23±2℃ 相對濕度：≤65%
■ 無較強的電場干擾，無強光直接照射
重量、體積
■ 主機重量：7.5kg
■ 體積：365×380×160（單位：mm 長度×寬度×高度）
