- 產(chǎn)品品牌:
- 羲和
薄膜方塊電阻測試儀主要用來測量硅外延層、擴散層和離子注入層、導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。它由電氣測量部份(簡稱:主機)、測試架、四探針頭及測量軟件組成。配備計算機后,可對測試結(jié)果進行打印、存儲。
功能特點
本套儀器的特點是主機配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機還提供為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。主機配有恒流源開關(guān),在測量某些薄層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,更好地保護箔膜。主機配置了“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準確度。本套儀器使用專用軟件進行數(shù)據(jù)采集,可實現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值,值、小值、百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
技術(shù)參數(shù)
測量范圍
■ 可測方塊電阻:0.001~1.9*105Ω·□
探針
■ 使用幾何尺寸十分的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準確。
■ 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μm,保證探針的小游移率。
■ 采用特制的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有獨立、準確的壓力。
■ 量具的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運動,持久耐磨。
恒流源
■ 輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào)
■ 量程:
0.001~0.01mA
0.01~0.10mA
0.10~1.0mA
1.0~10mA
10~100mA
■ 恒流:各檔均低于±0.05%
直流數(shù)字電壓表
■ 測量范圍:0~199.99mV
■ 靈敏度:10μV
■ 基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度)
■ 輸入阻抗:≥1000ΩM
供電電源
■ AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W
使用環(huán)境
■ 溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65%
■ 無較強的電場干擾,無強光直接照射
重量、體積
■ 主機重量:7.5kg
■ 體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)








