| 品牌 | Aalborg | 型號(hào) | DFC |
| 測(cè)量范圍 | 5SCCM ~ 1000SLPM |
設(shè)計(jì)特點(diǎn): 工作原理: 被測(cè)量氣體被分成兩條層流通道,一條經(jīng)過主通道,另一條經(jīng)過毛細(xì)感應(yīng)管。兩個(gè)通道保證在層流裝tia,所以他們的流量比率恒定不變。兩條熱的溫度線圈纏繞在感應(yīng)管上,當(dāng)有氣體流過的時(shí)候,氣體就把熱量從上游帶到下游的線圈。溫度變化與線圈的電阻改變成比例關(guān)系。


