| 類(lèi)型 | 平面干涉儀 | 品牌 | MYT |
| 型號(hào) | QY-P-150, QY-P-200 | 品種 | 激光干涉儀 |
| 測(cè)量范圍 | 平面 | 測(cè)量分辨率 | 高分辨率黑白顯示器（10寸） |
| 近工作距離 | 350X280X800mm（mm） | 用途 | 平面類(lèi)光學(xué)元件（包括玻璃、金屬、陶瓷等）表面面形的測(cè)量 |
平面干涉儀
1、儀器規(guī)格參數(shù)表
| 產(chǎn)品型號(hào) | QY-P-100 | QY-P-150 | QY-P-200 |
類(lèi)型 | 菲索型 | ||
測(cè)試口徑 | Φ100mm | Φ150mm | Φ200mm |
標(biāo)準(zhǔn)鏡面形 | λ/20 | λ/20 | λ/15 |
標(biāo)準(zhǔn)鏡材料 | 熔石英（康寧7980） | ||
光源 | He-Ne激光（632.8nm） | ||
光路切換 | 對(duì)準(zhǔn)（十字叉絲）與測(cè)試（干涉場(chǎng)）模式電控切換 | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 高分辨率黑白顯示器（10寸） | ||
供選配件 | 密封罩、衰減過(guò)濾片 | ||
儀器尺寸(長(zhǎng)X寬X高) | 350X280X800mm | 380X300X1000mm | 420X320X1000mm |
儀器重量 | 75KG | 80KG | 100KG |
電源 | AC220V 50Hz | ||
（附注：更大口徑平面干涉儀可依據(jù)客戶(hù)需求定制）
2、儀器特點(diǎn)
- 高
標(biāo)準(zhǔn)鏡高，且材料經(jīng)過(guò)精密退火處理，穩(wěn)定；
- 調(diào)整方便
可通過(guò)切換開(kāi)關(guān)選擇對(duì)準(zhǔn)與干涉場(chǎng)兩種顯示模式，方便調(diào)整；
- 條紋真實(shí)
可調(diào)節(jié)共軛成像位置，得到清晰、準(zhǔn)確、真實(shí)的干涉條紋；
- 性能優(yōu)良
儀器具備良好的隔振性能，適合光學(xué)加工現(xiàn)場(chǎng)使用；
- 配件豐富
選配簡(jiǎn)易密封罩，可將測(cè)試腔與外界氣流隔離，降低測(cè)試過(guò)程中氣流擾動(dòng)，判斷的準(zhǔn)確性。
3、儀器操作流程
3.1、基本操作
- 儀器初始化
開(kāi)機(jī)后穩(wěn)定15分鐘，使激光器模式穩(wěn)定；將儀器右側(cè)的轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)切換至“對(duì)準(zhǔn)調(diào)整”顯示模式，標(biāo)準(zhǔn)鏡反射光點(diǎn)位于十字叉絲。
- 光路粗調(diào)
將待測(cè)元件放置于載物臺(tái)上，將轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)切換至“對(duì)準(zhǔn)調(diào)整”顯示模式，調(diào)整載物臺(tái)的兩維角度調(diào)節(jié)旋鈕，使待測(cè)面反射光點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡反射光點(diǎn)在十字叉絲中心重合。
- 光路精調(diào)
將轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)切換至“干涉圖”顯示模式，此時(shí)器上已經(jīng)可以顯示出密集的干涉條紋，微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡調(diào)整架的兩維角度調(diào)節(jié)旋鈕，將視場(chǎng)內(nèi)的干涉條紋調(diào)整至3~5根。
- 條紋判讀
依據(jù)GB 2831-81（光學(xué)件的面形偏差檢驗(yàn)方法），并結(jié)合我們?yōu)榭蛻?hù)制作的“干涉圖與波像差對(duì)比圖”（見(jiàn)附錄），進(jìn)行條紋判讀。
3.2、操作
- 干涉圖清晰度調(diào)節(jié)
通過(guò)調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)鏡旁邊的“共軛調(diào)節(jié)旋鈕”，使干涉圖清晰的顯示在器上。儀器在出廠之前已經(jīng)校正到成像位置，一般情況下不需要進(jìn)行重新調(diào)整。
- 干涉圖對(duì)比度調(diào)節(jié)
當(dāng)待測(cè)表面鍍高反膜時(shí)，干涉條紋對(duì)比度會(huì)較差，此時(shí)推薦選配衰減過(guò)濾片，將其待測(cè)元件與標(biāo)準(zhǔn)鏡之間衰減光強(qiáng)，可獲得良好的條紋對(duì)比度。