MKS1559A氣體質(zhì)量流量計(jì)

1559A大流量控制器
1559是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在20slm（42.5cfh）到200slm（425cfh）量程范圍進(jìn)行氣體的質(zhì)量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559獨(dú)有的控制閥門(mén)能夠消除振蕩、具有更好的響應(yīng)時(shí)間。它的這個(gè)特點(diǎn)是通過(guò)使用一“平衡力”閥門(mén)的設(shè)計(jì)來(lái)實(shí)現(xiàn)的，它能夠消除管道壓力引起控制閥門(mén)內(nèi)部的非平衡狀態(tài)。1559的為全量程的±1％。

用于1559A的電纜線
CB259-5-10用來(lái)將1559連接至PR4000, 246, 247                                            
（如要在247上連接2個(gè)以上的通道，需要添加一個(gè)電源，請(qǐng)用CB1559-1-10）          
CB147-1-10用來(lái)將1559連接至146, 186, 647, 167                             
CB1559-1-M1用來(lái)連接1559A、247D和260PS    
 經(jīng)銷(xiāo)世界的MFC品牌有：Brooks,MKS,UNIT,Tylan,AE,STEC,Alicat等，品種規(guī)格齊全，同時(shí)經(jīng)銷(xiāo)的產(chǎn)品品牌包括：INFICON（膜厚控制儀、真空計(jì)/真空規(guī)、四極質(zhì)譜儀、壓強(qiáng)控制系統(tǒng)、氦質(zhì)譜檢漏儀、冷媒檢漏儀、真空閥門(mén)），COMDEL、AE、HUETTINGER(直流電源、射頻電源、中頻電源），VARIAN、PFEIFFER真空泵等；
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