| 在德國，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。 產(chǎn)品功能 定位、重復定位、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量等，還能夠測量數(shù)控機床的回轉(zhuǎn)量等，從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準和測量，廣泛應(yīng)用于動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。 性能優(yōu)勢 l真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。 l部件皆在德國生產(chǎn)制造，非為了降而在第三方進行部件加工。光學組件采用蔡司光學鏡，是世界上一家將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l測量系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期要干涉儀的部分功能（如測量直線度），則采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應(yīng)的部件即可。 l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。 l干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)更高，可達±0.4ppm。 l計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準確。 l 采樣頻率更快，達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可為0.1nm）。 l無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。 l信號<200ns；對電磁干擾不敏感。 l對于多軸聯(lián)動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。 工作原理 型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠?qū)ξ矬w進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號時間短。 采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標準化實驗室和高真空環(huán)境。 技術(shù)參數(shù)
與歐洲某品牌激光干涉儀的參數(shù)對比
ZLM700部分應(yīng)用的光路圖  |
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