技術(shù)參數(shù)：
 
1. 線性：0.5ppm .
2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米）
3. 線性分辨力：0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
5. 范圍：800角秒
6. 滾動(dòng)角：1.0角秒
7. 直線度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
8. 直線度范圍：500um
9. 垂直度：1角秒
10. 溫度：0.2攝氏度
11.濕度：5%
12.壓力：1mmHg

主要特點(diǎn)：

1. 同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角；
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器；
3. 可選的無(wú)線遙控傳感器長(zhǎng)的控制距離可到25米；
4. 可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性；
5. 全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架；
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間。