非標(biāo)探針臺
I (1)微型探針臺
整機(jī)外形尺寸:約380mmL*300mmW*320mm H,重量:約10 kg；：
雙探針座平臺鍍鏢設(shè)計(jì)，提高了針座平臺和針座之間的吸附力；
ChJKZC-UCk XY微分頭設(shè)計(jì)，行程25mm*25mm,精度2um；
ChJKZC-UCk大?。?英寸，中心吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品,均獨(dú)立控制；
卡盤電學(xué)獨(dú)立懸空，帶4mm香蕉頭插口,可以作為背電極使用；
臺體底板帶高性能防震海綿，可一定程度減小外界震動對測試的干擾;
整機(jī)人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作簡單，使用便捷。
| (2)倒裝手動測試夾具
可給樣品加載DC或者RF信號；
樣品可在0~180度任意角度內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)并固定；
具備微調(diào)功能，精度0.1度；
玻璃樣品載臺，高透光性；
可無磁化設(shè)計(jì)，在光學(xué),電磁等環(huán)境中運(yùn)用較為廣。
| (3)光電流測試顯微鏡
可在原有光路基礎(chǔ)上可以導(dǎo)入另一路光源，用于輻照樣品以測試樣品在特定波長及能量下電學(xué)性能；
顯微鏡設(shè)計(jì)為雙光路或3光路，其中一路為導(dǎo)入光通路，另一到兩路為成像光路導(dǎo)入光為平行的激光或其它線性光源 ,波長范圍200nm~20000nm,中間可加入多個波片過濾,起偏及偏振角度無級360度調(diào)節(jié)。光斑輻照直徑有650nm紅光 指示。所有模塊均可拉出設(shè)計(jì)，對導(dǎo)入光性質(zhì)無影響；
導(dǎo)入光光路可選擇光時間開關(guān), 控制導(dǎo)入光的輻照時間，精度1ms,范圍2ms~oo,在控制界面上可對各種參數(shù)進(jìn) 行詳細(xì)設(shè)置，成像光路為同軸照明金相成像，其中一路為1倍成像，可選擇第2路成像，為物鏡的0.25-10倍率，通常在高 低溫測試系統(tǒng)里會用到，同一個物鏡不切換，得到兩個不同視野的成像。
(4）TEC制冷卡盤
釆用TEC制冷，無需液氮，使用方便；
可給樣品提供不同溫度環(huán)境；
樣品臺大小可選，防干擾設(shè)計(jì)，具備良好的接地性能;
溫度范圍:負(fù)45°C~150°C,溫度分辨率：0.1°C,
溫度穩(wěn)定性：土 0.3°C；
樣品臺微調(diào)升降，行程O-lOmm,精度10umo
(5)磁場探針臺(無磁設(shè)計(jì))
在探針臺的基礎(chǔ)上，可加載三維磁場，多維磁場，磁場強(qiáng)度，精度和間隙均可調(diào)整;
高剛性結(jié)構(gòu)，所有零配件均采用無磁化材料；
可加載高低溫，可同時進(jìn)行DC和RF測試；
可以旋轉(zhuǎn)，可客制化。
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|⑹110g以上高頻測試探針臺
可配合市場主流擴(kuò)頻模塊進(jìn)行超高頻測試；
大行程高精度探針座,X-Y-Z-Theta四軸控制；
顯微鏡可以在2英寸*2英寸*2英寸范圍內(nèi)移動,擴(kuò)大了顯微鏡視場；
兼容直流與高頻信號；
可以定制,可升級性強(qiáng)；
可以測試12英寸樣品,探針臺chJKZC-UCk具備升降功能，便于樣品和 探針的快速分離。
(7)自動測試系統(tǒng)
自動探針測試系統(tǒng)，可以與半?yún)ⅲW(wǎng)分聯(lián)動；
電動二維平臺，可手動和電動操作；
ChJKZC-UCk XY軸運(yùn)動行程100*100mm,復(fù)定位精度＜±lum；
X-Y軸驅(qū)動:電機(jī)+絲桿+光柵尺；
探針/光纖探針XYZ軸電動模塊30*30*30mm,復(fù)定位精度W ±lum；
X-Y-Z軸驅(qū)動:電機(jī)+絲桿+光柵尺。
(8)可升降平臺
產(chǎn)品型號：T-station
產(chǎn)品參數(shù)：
尺寸和重量定制；
單個探針座平臺最多可同時放置3個探針座；
探針座平臺表面鍍鏢，增大與探針座之間的吸附力;
隱匿螺紋固定于標(biāo)準(zhǔn)蜂窩板，美觀，并且方便拆卸；
平臺可升降，升降高度和精度可定制；
可配合光電流顯微鏡使用。
| (9)高精度納米探針座
產(chǎn)品型號：
JKZC-DCH-20nm
產(chǎn)品參數(shù)：
X軸分辨率：20nm,行程30um (旋鈕控制盒)；
YZ軸分辨率：10um,行程+-6.5mm；
釆用高精度壓電陶瓷設(shè)計(jì)，可以固定步距撥動樣品或者納米線。
(10)毫米級手持式探針夾具
I產(chǎn)品型號：JKZC-DCH
I產(chǎn)品參數(shù)
整體尺寸:20*20*180mm;
萬向調(diào)節(jié)旋鈕，方向可調(diào)，松緊可調(diào)；
磁吸底座，直徑20mm;
兼容彈簧針和晶圓針；
Cable接頭可定制三軸，同軸或者其它。
(11) FA失效分析探針臺
|產(chǎn)品型號：FA
I產(chǎn)品參數(shù)
探針臺系統(tǒng)可以選用：4~12英寸JKZC-DN系列探針臺。
激光系統(tǒng)可以選用美國ESI三波段激光器或者法國 quantel激光器
美國ESI (NEWWAVE)激光器參數(shù)
鐳射波長1064和532nm和355nm
輸出功率2.2mJ/pulse
擊打頻率lHz~50Hz
可加工的材質(zhì):Copper/Gold/Poly Silicon/Alu minum/Silicon Dixoide等
最小加工尺寸1微米(使用100X物鏡)
加工尺寸40微米(使用50X物鏡)
