| 型號(hào) | SH-6 | SH-8 | SH-12 | |
| 外形 | 820mm長(zhǎng)*720mm寬*890mm高 | 960mm長(zhǎng)*850mm寬*900mm高 | 1300mm長(zhǎng)*920mm寬*920mm高 | |
| 重量 | 170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | | | |
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 | |
| 移動(dòng) | 1um | | | |
| 樣品固定方式 | 真空吸附 | | | |
| 背電測(cè)試功能 | 有，樣品臺(tái)電學(xué)懸空 | | | |
| 針座平臺(tái) | 規(guī)格 | U型平臺(tái)，多可放置6個(gè)針座 | U型平臺(tái)，多可放置10個(gè)針座 | U型平臺(tái)，多可放置12個(gè)針座 |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降1um | | | |
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | | |
| 顯微鏡移動(dòng) | 1um | | | |
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 注1 | | | |
| 放大倍數(shù) | 20~4000X | | | |
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X、100X(選配) | | | |
| CCD像素 | 50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字) | | | |
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | | |
| 機(jī)械 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | | | |
| 漏電 | 10pA/100fA (配置屏蔽箱時(shí)) | | | |
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸接口 | | | |
| 應(yīng)用方向 | 晶圓測(cè)試，光電器件測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試，高壓/大電流測(cè)試等 | | | |
| 可選附件 | 卡盤(pán)快速拉出裝置 | | | |
| 顯微鏡傾仰裝置(傾仰30度) | | | | |
| 顯微鏡氣動(dòng)升降裝置 | | | | |
| 激光微加工 | | | | |
| 探針卡夾具 | | | | |
| 顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | | | | |
| 液晶熱點(diǎn)偵測(cè)套裝 | | | | |
| 高壓/大電流測(cè)試套裝 | | | | |
| 帶真空底座的活動(dòng)Chuck | | | | |
| 加熱臺(tái) | | | | |
| 高低溫樣品臺(tái) | | | | |
| 屏蔽箱 | | | | |
| 轉(zhuǎn)接頭 | | | | |
| 震臺(tái) | | | | |
| 鍍金卡盤(pán) | | | | |
| 同軸叁軸卡盤(pán) | | | | |
| 樣品臺(tái)快速升降，微調(diào)升降裝置選件 | | | | |
| 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)微調(diào)選件 | | | | |
| 光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試選件 | | | | |
| 射頻測(cè)試附件 | | | | |
| 有源探頭 | | | | |
| 低電流/電容測(cè)試 | | | | |
| 兼容積分球測(cè)試選件 | | | | |
| 光纖夾具耦合測(cè)試選件 | | | | |
| 封裝器件夾具 | | | | |
| PCB/封裝夾具測(cè)試選件 | | | | |
| 定制 | | | | |
| 注1 | 配置體式顯微鏡(放大倍數(shù)16~100X)時(shí)顯微鏡固定，無(wú)需切換鏡頭 | | | |
