SEMISHARE LCVD系列激光系統(tǒng)
1. CVD工作原理:用金屬材料連接在各種不同的制程材質(zhì)上。修補(bǔ)斷線,通孔以減少線缺陷,進(jìn)而良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,短路,斷線,以減少線缺陷,進(jìn)而良率。 2. 連線效果 成膜規(guī)格: 材質(zhì):Cr,Mo,W,Al 小線寬:2 micron
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朱秋苑女士(聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)說明是在維庫儀器儀表網(wǎng)看到的,謝謝)
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SEMISHARE LCVD系列激光系統(tǒng)
1. CVD工作原理:用金屬材料連接在各種不同的制程材質(zhì)上。修補(bǔ)斷線,通孔以減少線缺陷,進(jìn)而良率。 CUT工作原理:利用激光精密切割,熔接功能,短路,斷線,以減少線缺陷,進(jìn)而良率。 2. 連線效果 成膜規(guī)格: 材質(zhì):Cr,Mo,W,Al 小線寬:2 micron