德國EdgeWave公司創(chuàng)建于2001年, 是高端激光器產品的供應商。EdgeWave是世界技術InnoSlab技術的先驅和當今世界這個新激光技術領域的者。InnoSlab 激光憑借其量、高脈沖頻率、高光束質量和它的杰出特征—高度靈以及優(yōu)化定制光束分布, 已經成為現代激光器中效的加工手段。它能幫助使用者完善現有的加工工藝以及不斷地開拓新的生產領域和新加工方法。
InnoSlab短脈沖和短脈沖激光器標準產品包括以下各種電光調Q的InnoSlab激光器，使用不同的激活介質, 具有不同的脈沖能量、輸出功率和波長:
· 
光束質量: M2 < 2
· 脈沖能量可 60mJ
· 脈寬可 4ns以下
· 峰值功率可 7MW
· 脈沖重復頻率可到 150 kHz
· 平均功率可達 600W
· 波長 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的一個與眾不同的杰出特性在于其光束形狀可量身定制: 從圓形高斯模式到一維線狀平頂以及兩維方形平頂等等。
納秒激光器應用領域：
· 光伏行業(yè)，例如硅晶園的劃片、打孔和切割；薄膜太陽能電池和晶硅太陽能電池導電層和緣層的燒蝕
· 顯示領域，如導電層的織構化和玻璃切割
· 玻璃工業(yè)，如微鉆孔和亞表面內雕
· 電子工業(yè)，例如對印刷電路板的切割和鉆孔
· 工具制造和機械工程，如三維燒蝕快速成形
面板切割 微結構加工 航空材料加工
納秒激光器技術參數
型號 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波長（nm） | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束質量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
平均功率（W） | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
重頻頻率（KHz） | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
單脈沖能量（mJ） | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
小脈寬（ns） | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量穩(wěn)定性（%）rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑橢圓度（遠場）[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直徑（mm） | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
發(fā)散角（全角，μrad） | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
預熱時間（min） | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |
