作用：

·&sp;采用島津的Ｘ射線聚光透鏡[集束毛細(xì)管透鏡]，X射線只照射樣品的50μmφ微小領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高分析。&sp;

·&sp;可以在大氣中進(jìn)行從輕元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/&sp;1400)的分析。&sp;

·&sp;配備雙CCD(率,低倍率)攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時(shí)方便地決定分析位置，進(jìn)行分析。&sp;

·&sp;標(biāo)準(zhǔn)配備無標(biāo)樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測(cè)定聚合物薄膜的背景基本參數(shù)（BG-FP）法。&sp;

·&sp;作為微區(qū)Ｘ射線熒光光譜分析裝置，在世界上配備了5種1次Ｘ射線濾光片自動(dòng)交換機(jī)構(gòu)，可消除來自Ｘ射線管的特征Ｘ射線，信噪比。&sp;

·&sp;配備多元素同時(shí)/自動(dòng)掃描成圖功能。采用掃描成圖，在短時(shí)間內(nèi)便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)。追加觀察單元(選購)，也可進(jìn)行Ｘ射線的同時(shí)測(cè)定。&sp;

·&sp;配備電子冷卻式高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器。無需液氮，可進(jìn)行高分析。
(μEDX-1400)&sp;

·&sp;可輕松地進(jìn)行電子材料/部件的鍍層膜厚測(cè)定、異物檢測(cè)、失效解析及成圖分析。

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　產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù)

&sp;&sp;1．分析原理：&sp;能量散X射線熒光分析法
&sp;&sp;&sp;&sp;2．分析元素：&sp;K&sp;～U任意元素,&sp;鉛（Pb）、汞（Hg）、六價(jià)鉻（Cr6+）、&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;多溴聯(lián)苯（PBB）和多溴聯(lián)（PBDE）中的溴
&sp;&sp;&sp;&sp;3．工作條件：&sp;工作溫度：10-30℃&sp;相對(duì)濕度：≤70%
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;電源：AC&sp;220&sp;V±10%、50/60&sp;Hz
&sp;&sp;&sp;&sp;4．技術(shù)指標(biāo)&sp;新高靈敏度探測(cè)器（分辨率達(dá)149Ev），精密的放大電路，
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;Cd、Pb元素的靈度。
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;檢出下限(Cd/Pd)：Cd/Cr/Hg/Br≦2&sp;ppm,&sp;Pb≦5&sp;ppm
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;樣品形狀：任意大小，任意不規(guī)則形狀
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;樣品類型：塑膠/金屬/薄膜/粉末/液體
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;小樣品腔尺寸：300×300×100mm
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;大樣品腔尺寸：樣品尺寸不受限制
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;X射線管：&sp;靶材/Mo&sp;管電壓/5～50&sp;kV&sp;管電流/1～1000&sp;μA
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;照射直徑：&sp;2、5、8mm
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;探測(cè)器：&sp;Si(PIN)半導(dǎo)體高靈敏度探測(cè)器
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;濾光片：&sp;八種新型濾光片自動(dòng)選擇
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;樣品定位：&sp;微動(dòng)載物平臺(tái)（選配）
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;樣品觀察：&sp;130萬分辨率彩CCD攝像機(jī)
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;微區(qū)分析：&sp;X光聚焦微區(qū)分析系統(tǒng)（選配）軟件
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;定量分析：&sp;理論Alpha系數(shù)法(S-GSC法)
&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;&sp;數(shù)據(jù)處理：&sp;PC/AT/內(nèi)存/256&sp;&sp;以上/硬盤/80G以上，Windows&sp;XP系統(tǒng)。

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