大行程移動平臺設(shè)計
MX系列機型采用4\6平臺設(shè)計,可透用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
MX-4R/MX4RT:4英寸平臺,移動范圍:105mmX105mm
MX-6R/MX6RT:6英寸平臺,反射照明移動范圍:158mmX158mm,照明移動范圍100mmX100mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。
長工作距金相物鏡
設(shè)計的長工作距物鏡,采用半復(fù)消色差技術(shù),并使用多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利,色彩自然,明亮舒適。
物鏡轉(zhuǎn)換器
MX機型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計,轉(zhuǎn)動手減輕巧舒適,重復(fù)定位高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。









