一、STACIS 2100用戶及應(yīng)用領(lǐng)域
l 微電子、半導(dǎo)體
-晶片檢測
-顯微光刻技術(shù)
-掩膜校準(zhǔn)
l 科學(xué)研究、納米技術(shù)
-SEM, TEM
-STEM, SPM
l 激光臺
-生命科學(xué)、研發(fā)
l 工業(yè)應(yīng)用
-精密加工
二、為什么要選擇主動系統(tǒng)？
l 從<1Hz開始強(qiáng)烈消除地面震動，氣動平臺在這一低頻處無法起到的隔振
l 吞吐量、質(zhì)量、生產(chǎn)量
l 更加細(xì)小特色的成像能力
l 研究前沿
l 比氣動平臺更穩(wěn)定
l 滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點安裝參數(shù)的解決方案
l 使得新實驗室及研究設(shè)備的工程造價更低
三、為何選擇主動系統(tǒng), 為何選擇STACIS?
l 正中研究者、科學(xué)家、設(shè)計者、的心聲棗?#25105;需要盡可能的無震環(huán)境！?/SPAN>
l 市場上強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。
l 目前，的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動參數(shù)需要主動隔振系統(tǒng)
l STACIS次發(fā)明于 mid 1990s, 經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開發(fā)了數(shù)以千計的安裝系統(tǒng)，這是隔振控制領(lǐng)域的提供的技術(shù).
四、STACIS特色與優(yōu)勢
l 寬的主動隔振帶寬，的低頻隔振效果
l 亞赫茲的主動震動消除，主要在0.6-6Hz頻段內(nèi)的隔振
l 的可堆疊式設(shè)計
l 主動硬式安裝結(jié)構(gòu)，而非軟式懸浮，無低頻漂移：主動元件與剛性彈簧相連
l 被動彈簧濾除了來自Stacis傳感器的負(fù)載諧振，需要的調(diào)諧少，甚至無需調(diào)諧
l 由于阻不匹配，可兼容儀器內(nèi)部隔離器
l 大負(fù)載，可達(dá) 2000kg
l 市場是的隔振系統(tǒng)
五、STACIS相比氣動隔離器剛性大400倍 ?/FONT>
穩(wěn)定時間作為對擾動的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的剛性臺面的情況下。
六、如下優(yōu)勢在業(yè)內(nèi)都是的
l STACIS的主動隔振帶寬為 0.6Hz - 150Hz
l 6個自由度的主動震動消除，在1Hz時隔振8-10dB
l 從2-3Hz時，隔振可達(dá)90% (20dB)
七、的環(huán)境調(diào)查
安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動、磁場、聲波
安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系
l 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)
l 開具環(huán)境
l 提供震動、磁場、聲波檢測及解決方案
l 性覆蓋。有求應(yīng)，博學(xué)多才
l TMC基于其廣泛經(jīng)驗向用戶推薦實用性方案
l 40多年的行業(yè)經(jīng)驗，業(yè)內(nèi)的
