- MS520系列光譜儀介紹：
MS520系列譜儀基于C-T非對(duì)稱光學(xué)設(shè)計(jì)，它能較少畸變和阻止來自光柵及鏡面的光線再次入射到譜儀內(nèi)部。
MS5201i和MS5204i系列擁有像散校正功能的光學(xué)元件，可以用于多通道的光譜應(yīng)用。
MS520系列光譜儀擁有一個(gè)入射口和兩個(gè)出射口，系統(tǒng)里面有一個(gè)自動(dòng)的鏡子能實(shí)現(xiàn)選擇從哪個(gè)出射口輸出。無論是哪個(gè)出射口都可以安裝出射光譜狹縫或者是多通道探測(cè)器。
SOL提供MS520系列單色光譜儀兩種類型的入射及出射光譜狹縫：手動(dòng)模式（用千分尺螺桿手動(dòng)操作）和自動(dòng)模式（手動(dòng)和自動(dòng)組合的）。自動(dòng)模式下狹縫寬度可以自動(dòng)調(diào)節(jié)。有多種可以選擇的光柵，這些光柵能系統(tǒng)率的組合及很高的光譜分辨率。
MS520系列譜儀有多種附件可以選擇，比如濾波片輪FWS-8A，快門，光纖適配器，探測(cè)器等。
MS520系列譜儀的光譜分辨率及光通量都高，其分辨率可達(dá)0.002nm（中階梯光柵，75grooves/mm）。通過設(shè)置及所需附件，該系列譜儀實(shí)用Raman光譜分析以及熒光研究。
MS520系列各型號(hào)對(duì)比：
MS5201 | MS5201i | MS5204 | MS5204i | |
衍射單元 | 單一的可手動(dòng)更換光柵的位置支架 | 單一的可手動(dòng)更換光柵的位置支架 | 四光柵塔輪 | 四光柵塔輪 |
光學(xué)系統(tǒng) | 標(biāo)準(zhǔn) | 成像 | 標(biāo)準(zhǔn) | 成像 |
備注：MS5201和MS5204使用標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)，平面入射偏轉(zhuǎn)鏡；MS5201i和MS5204i使用柱面鏡用作入射偏轉(zhuǎn)。
MS520 系列譜儀性能參數(shù)：
光學(xué)系統(tǒng) | |
光學(xué)設(shè)計(jì) | C-T結(jié)構(gòu) |
接口 | 1個(gè)輸入，2個(gè)輸出 |
波長(zhǎng)范圍 | 185nm-60μm |
F/#（入射） | 1/5.4 |
焦距（出射） | 520mm |
掃描范圍 | 0-1500nm（@ 1200l/mm） |
基礎(chǔ)鏡片 | 球面鏡 |
散射光 | 1×10-6（20nm@激光波長(zhǎng)632.8nm） |
焦平面 | 28×10mm |
成像（限于MS5201i和MS5204i） | |
水平放大 | 1.07 |
垂直方大 | 1.29 |
垂直分辨率 | < 20μm |
驅(qū)動(dòng) | |
馬達(dá) | 步進(jìn)電機(jī) |
驅(qū)動(dòng) | 正弦 |
步長(zhǎng) | 0.22 角秒 |
±1 步長(zhǎng) | |
速度 | 10 000步長(zhǎng)/秒 |
光學(xué)參數(shù) | |
備注：①：@1200l/mm，546nm ②：@中階梯光柵75l/mm，200nm，120orders | |
色散倒數(shù) | 1.55nm/mm（①） 或0.11nm/mm（②） |
光譜分辨率 | |
PMT(狹縫寬度10μm） | 0.028nm（①）或 0.002nm（②） |
數(shù)碼相機(jī)（12μm/p） | 0.034nm（①）或 0.0024nm（②） |
重復(fù)性 | ±0.008nm（①）或 ±0.0006nm（②） |
波長(zhǎng) | ±0.05nm（①）或 ±0.004nm（②） |
平均掃描步長(zhǎng) | 0.002nm（①）或 0.00014nm（②） |
光柵 | |
尺寸 | 80×70×10mm |
旋轉(zhuǎn) | 光柵工作表面 |
定位 | 4光柵塔輪或1光柵支架 |
光柵切換波長(zhǎng)重復(fù)性（光柵1200l/mm，546nm） | ±0.02nm（@4光柵） |
光柵切換垂直成像重復(fù)性 | ±50μm（@4光柵） |
光柵切換波長(zhǎng)重復(fù)性（光柵1200l/mm，546nm） | ±0.05nm（@1光柵） |
光柵切換垂直成像重復(fù)性 | ±75μm（@1光柵） |
接口 | |
入/出射口 | 1個(gè)輸入，1或2個(gè)輸出 |
出射口重復(fù)性（自動(dòng)） | ±0.03nm |
切換時(shí)間 | 4s |
光譜狹縫 | |
寬度 | 自動(dòng)（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）或手動(dòng)（千分尺） |
平行度 | 0-20mm,±1μm |
（縫寬 1mm） | ±10μm |
重復(fù)性 | ±1μm（±1.5μm@手動(dòng)） |
讀出（千分尺） | 2μm |
步長(zhǎng) | 0.5μm |
高度 | 0-10mm |
集成快門 | |
透光率（快門關(guān)閉） | <0.001% |
開關(guān)時(shí)間 | 約100ms |
重復(fù)頻率 | 1Hz |
控制 | 板載CPU或TTL |
控制系統(tǒng) | |
內(nèi)部控制 | 板載CPU |
外部控制 | PC |
外部接口 | RS-232 |
尺寸重量 | |
外觀尺寸 | 635×339×270mm |
重量 | 25kg （標(biāo)準(zhǔn)配置） |
