產(chǎn)品簡介
HS-T50無接觸厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽能電池片制造過程中對表面厚度TTV電阻率測量的儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料，的設(shè)計都合ASTM(美國材料實驗協(xié)會)和Semi標(biāo)準(zhǔn)，與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。
產(chǎn)品特點
■ 無接觸傷測量
■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎的材料
■ 干擾強，穩(wěn)定性好
■ 強大的工控機控制和大屏幕顯示
■ 一體化設(shè)計操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量
技術(shù)指標(biāo)
■ 測試尺寸：
■ 厚度測試范圍：1000 um，可擴展到1700 um.
■ 測試：+/-0.25um
■ 電阻率測試范圍：0.1-50 ohm.cm
■ 測量：2%
■ 晶圓硅片類型：單晶或多晶硅
