PE-100實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)
等離子表面處理機(jī)是一種非破壞性的表面處理設(shè)備，它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)，在真空負(fù)壓的狀態(tài)下，以電能將氣體轉(zhuǎn)化為高的氣體等離子體，氣體等離子體能輕柔沖刷固體樣品表面，引起分子結(jié)構(gòu)的改變，從而對(duì)樣品表面污染物進(jìn)行清洗，在短時(shí)間內(nèi)污染物就被外接真空泵徹底抽走，其清洗能力可以分子級(jí)。在條件下還能使樣品表面特性發(fā)生改變。因采用氣體作為清洗處理的介質(zhì)，所以能避免樣品的再次污染。等離子清洗器既能加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤性，也能對(duì)樣品進(jìn)行和。等離子清洗器現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。小型等離子清洗機(jī)以體積小、成本低、操作簡便等特點(diǎn)廣泛應(yīng)用于科研及小批量生產(chǎn)場合。
PE-100參數(shù):
標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)特點(diǎn)
電: 229mm*330mm，均可配三層電，間距76mm
等離子發(fā)生器功率:300W,100 KHz （連續(xù)可調(diào)）
質(zhì)量流量控制器: O-50cc （連續(xù)可調(diào)）
Pirini真空計(jì)：0-1Torr
控制器：基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng)
真空泵：8CFM氧氣
耐用鋁合金真空腔體
可選配置
等離子發(fā)生器功率和頻率:300W ，13.56 MHz
過程溫度控制
自定義電配置
RIE（反應(yīng)離子電）配置
靜電屏蔽
系統(tǒng)規(guī)格
等離子控制臺(tái)：432mm* 711mm*762mm 重量：73Kg
真空泵：
