移動(dòng)方向 XY軸2方向
移動(dòng)量 &plun;12.5mm
ステージ面 60mm×60mm
使用モータ PK523HPB相當(dāng)（5線式ペンタゴン結(jié)線、0.75A/相）
分解能 0.002mm
送りねじリード 1mm
移動(dòng)ガイド HG-VCR（V溝とクロスローラ）
移動(dòng)HV 真直度（水平?垂直）0.002mm
移動(dòng) ヨーイング15sec、ピッチング25sec
位置決め 0.01mm
繰り返し &plun;0.0003mm
ロストモーション 0.001mm
運(yùn)動(dòng)の平行度 0.02mm
XY直交度 0.006mm
モーメント剛性 ヨー剛性 0.2sec/N?cm、ピッチ剛性 0.2sec/N?cm、ロール剛性 0.2sec/N?cm
耐荷重 39.2N（4kgf）
質(zhì)量 1.0kg
速度 16mm/s（8,000pps時(shí)）
主要材質(zhì)/表面処理 アルミ合金／黒アルマイト梨地
原點(diǎn)センサ ノーマルクローズ接點(diǎn)（ブレーク接點(diǎn)、Ｂ接點(diǎn)）動(dòng)作、フォトセンサ
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