產(chǎn)品簡介
OWT-200才用PHYS技術(shù)，對透明、半透明、不透明幾乎的材料的厚度，TTV，LTV，彎曲度，平整度進(jìn)行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高測量的性價比在同類測試儀器中是的。
產(chǎn)品特征
■無接觸傷測量
■高度及重復(fù)性
■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量
■測試速度
技術(shù)指標(biāo)
■測試尺寸：50mm-200mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um
■厚度測試：＋/-0.1um
■厚度重復(fù)性：0.050um
■TTV 測試：＋/-0.1um
■TTV重復(fù)性：0.01um
■Warp/Bow：0.2um
■Warp/Bow重復(fù)度：0.5um
■測量時間：<100秒
■材料：透明、半透明、不透明幾乎的材料
■尺寸：560X650X400mm
■電源：220V 50Hz 300W
OWT-200才用PHYS技術(shù)，對透明、半透明、不透明幾乎的材料的厚度，TTV，LTV，彎曲度，平整度進(jìn)行無接觸測量，其對透明、半透明材料的高測量的性價比在同類測試儀器中是的。
產(chǎn)品特征
■無接觸傷測量
■高度及重復(fù)性
■測量材料范圍廣，透明、半透明、不透明幾乎材料的
厚度/彎曲度/平整度/LTV/TTV
■干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好
■強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示
■一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定
■為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測量
■測試速度
技術(shù)指標(biāo)
■測試尺寸：50mm-200mm.
■厚度測試范圍：1000 um，可擴(kuò)展到1700 um
■厚度測試：＋/-0.1um
■厚度重復(fù)性：0.050um
■TTV 測試：＋/-0.1um
■TTV重復(fù)性：0.01um
■Warp/Bow：0.2um
■Warp/Bow重復(fù)度：0.5um
■測量時間：<100秒
■材料：透明、半透明、不透明幾乎的材料
■尺寸：560X650X400mm
■電源：220V 50Hz 300W
