探針座有如圖所示，EB005、EB050和EB700三個(gè)系列。
　　
　　EB005規(guī)格
　　* 尺寸 90mmW x 130mmD x 90mmH
　　* 重量 1000克
　　* 0.7μm（可到0.35μm）
　　* 牙距 100牙／英寸
　　* X-Y-Z線性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
　　* 特點(diǎn)：，性好
　　
　　EB050規(guī)格
　　* 尺寸 52mmW x 96mmD x 76mmH
　　* 重量 550克
　　* 5μm
　　* 牙距 80牙／英寸
　　* X-Y-Z線性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
　　* 特點(diǎn)：大部分情況下均可使用此款，性好
　　
　　EB700規(guī)格
　　* 尺寸 38mmW x 62mmD x 45mmH
　　* 重量 200克
　　* 10μm
　　* 牙距 40牙／英寸
　　* X-Y-Z線性移動(dòng)范圍 12mmX12mmX12mm
　　* 特點(diǎn)：成本低，性好
　　
　　特點(diǎn)：
　　* 真空吸附型，需配一臺(tái)小型真空泵，能夠方便地吸附在平臺(tái)表面進(jìn)行固定和定位，比磁鐵吸附的操控更加靈活。
　　* EB系列探針座是線性移動(dòng)，有些仿制的探針座，在探針移動(dòng)的時(shí)候，走的是蛇行的路線，給點(diǎn)針造成困難。
　　* 奕葉探針臺(tái)是目前臺(tái)灣地區(qū)一家采用瑞士螺紋的探針臺(tái)。
　　* EB-005探針座可以0.7μm的線性移動(dòng)，理論是0.5μm，廠商給出的保守?cái)?shù)據(jù)是0.7μm.
　　* EB-005探針座可以選擇牙距為200牙／英寸的置，0.35μm的高。
　　* EB-005探針座是目前半導(dǎo)體業(yè)內(nèi)精準(zhǔn)度的探針座之一。由于芯片點(diǎn)測(cè)的終細(xì)調(diào)都是由探針座來(lái)完成，一般探針平臺(tái)不是太差的情況下，選用高的探針座，可以探針臺(tái)整體系統(tǒng)性能的重要作用，是您價(jià)格比的選擇。