?。slash；移動范圍：X 軸驅(qū)動部：100mm，電動立柱（垂直方向）：250mm
　?。slash；Z 軸測量范圍：1000μm（粗糙度時）、50mm（輪廓度時）
　?。slash；直線度：粗糙度時（0.05＋1.0L/1000）μm，L：測量長度（mm）輪廓度時1μm/100μm
　?。slash；測量（輪廓）：Z 軸（垂直方向）指示&plun;（1.8＋│2H│/100）μm Z 軸分辨率 0.1μm/50mm，X 軸（橫方指示&plun;（1＋2L/100）μm，L＝測量長度（mm），粗糙度：X 軸分辨率0.1μm

　?。slash；粗糙度解析項目：測量參數(shù)（JIS，ISO，DIN，AE，CMO 等標(biāo)準(zhǔn)）評價曲線（斷面曲線，粗度曲線，波紋度曲線等）、特性圖形（負(fù)荷曲線，振幅分布曲線等）
　?。slash；記錄倍率：縱倍率（粗糙度用）50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自動橫倍率（粗糙度用）50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自動縱倍率（輪廓用）0.01～10，000，000倍（任意，自動可）橫倍率（輪廓用）0.01～10，00，000倍（任意，自動可）
　?。slash；濾波種類：標(biāo)準(zhǔn)型濾波（2CR），位相補(bǔ)償濾波（2CR），高斯濾波。
　?。slash；取樣長度：0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8，25mm（7種）及任意。
　?。slash；驅(qū)動速度：粗糙度0.03～3mm/s；波紋度 0.03～20mm/s
　?。slash；傳感器：差動變壓式原理和光柵尺