目前，我國(guó)利用特種光源（波長(zhǎng)為200納米以下）用于清潔（物）、（如設(shè)備）、（如水處理設(shè)備）的產(chǎn)品還少甚至空白；至今沒有研制成功的原因是國(guó)內(nèi)沒有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的、能夠完成對(duì) 200納米以下光譜的測(cè)量分析鑒定系統(tǒng)?！罢婵兆贤夤庾V儀”就是對(duì)進(jìn)入“真空紫外”段的光譜，在真空條件下完成測(cè)量的系統(tǒng)。由于國(guó)內(nèi)市場(chǎng)尚無(wú)產(chǎn)品，同類產(chǎn)品又十分昂貴；該同類產(chǎn)品國(guó)外價(jià)格一般在十萬(wàn)美元甚至數(shù)十萬(wàn)美元，昂貴；因此，具有真空紫外段光譜的電光源器件的開發(fā)、研制受到限制；而具應(yīng)用價(jià)值、市場(chǎng)急需的高、長(zhǎng)壽命、新的電光源器件遲遲不能問世，其應(yīng)用的領(lǐng)域不能拓展。我公司“真空紫外光譜儀”的研制成功結(jié)束了依賴的局面；為我國(guó)的特種光源及材料在上述領(lǐng)域的應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)，在分析儀器領(lǐng)域填補(bǔ)了。而該產(chǎn)品是本公司自主開發(fā)的，價(jià)格定位不及國(guó)外的一半，具有很高的性能價(jià)格比。
　　
　　傳統(tǒng)的光譜儀，是在大氣中測(cè)量的。進(jìn)入“真空紫外”段（200納米以下），其光譜特性的測(cè)量需在真空條件下，由精密的光學(xué)系統(tǒng)來完成。其關(guān)鍵技術(shù)：
　　（1） 真空狀態(tài)下的精密機(jī)械動(dòng)密封。
　　（2） 油處理。
　?。?） 連續(xù)可調(diào)密封狹縫。
　?。?） 光柵的機(jī)械補(bǔ)償校正。
　　點(diǎn)：
　?。?） 對(duì)各關(guān)鍵環(huán)節(jié)採(cǎi)用了分布式微處理器的自動(dòng)控制。
　　（2） 設(shè)計(jì)的附加設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)多樣片同時(shí)測(cè)試，減少了在密封條件下頻繁安裝與拆卸，了測(cè)試效率與。
　?。?） 取消了傳統(tǒng)的動(dòng)密封，了系統(tǒng)的真空度。
　　
　　本產(chǎn)品的性能已國(guó)外同類產(chǎn)品水平，主要技術(shù)指標(biāo)：
　　短波長(zhǎng)≤50nm(納米)
　　分辨率：0. 02nm(納米)
　　國(guó)內(nèi)水平（）。