充氮厭氧烘箱于硅片（或晶片、晶圓片、圓片）進(jìn)行清洗之后干燥硅片工藝。
　　PHH-系列充氮厭氧烘箱特點(diǎn)：
　　1）全周氬焊，硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，機(jī)臺(tái)本身產(chǎn)生微塵；
　　2），可以和工作場(chǎng)同樣的地潔凈等級(jí)；
　　技術(shù)參數(shù)：
　　1.型號(hào)：PHH-1008
　　2.工作尺寸（mm）：W1400×H1300×D600（寬*高*深）
　　3.外形尺寸（mm）：W1990×H1850×D810（寬*高*深）
　　4.送風(fēng)方式：強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)。
　　5.溫度范圍：RT＋10℃～300℃。
　　6.溫度波動(dòng)：<±0.5℃。
　　7.溫度均勻：±1.5%。
　　依測(cè)規(guī)范：測(cè)SENSOR置放點(diǎn)，離內(nèi)箱壁內(nèi)尺寸1／10處。
　　8.溫控裝置：日本富士P.I.D智能溫控儀表，LED數(shù)字顯示及設(shè)定、P.I.D自動(dòng)演算、時(shí)間定時(shí)。
　　溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器。
　　測(cè)溫裝置：1支PT100鉑電阻溫度傳感裝置，測(cè)溫。
　　定時(shí)裝置：HS48S-99.99定時(shí)儀表。
　　9.內(nèi)室材料：采用　1.0mm厚度SUS不銹鋼鋼板板金折彎加工，周身做氬弧焊滿焊，密閉，氮?dú)獠恍孤?；外箱?yōu)質(zhì)SUS不銹鋼數(shù)字加工而成，美觀大方。
　　10.保溫材質(zhì)：硅酸鋁。
　　11.特質(zhì)復(fù)合式SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器。
　　12.保護(hù)裝置：溫保護(hù)，欠相保護(hù)，過載保護(hù)器，蜂鳴器，開門氮?dú)庾詣?dòng)中斷保護(hù)