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殘余氣體分析儀（四質(zhì)譜儀）
ToolCheck在真空診斷中是的概念，它橋接了真空計(jì)與RGAs之間的空隙。這臺簡易的高功能儀器用于監(jiān)測真空系統(tǒng)，地辨別常規(guī)的殘余氣體，便于及時(shí)檢測真空問題與快速消除故障。這臺全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室，內(nèi)置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運(yùn)行于系統(tǒng)控制器的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)頁瀏覽器查閱結(jié)果，無需外接計(jì)算機(jī)。簡單的指令組易于寫入用戶特定的碼，將ToolCheck集成于您的系統(tǒng)控制器。
Transpeor 2的特點(diǎn)
·I100－，200－，和300－amu系統(tǒng)帶法拉第杯或電子器/法拉第杯的組合。
·改進(jìn)的氫檢測。
·與原始的Transpeor相比訊噪比10倍
·快速掃描低值訊號
·個(gè)量級的電子學(xué)動(dòng)態(tài)量程
·用于單傳感器和多傳感器系統(tǒng)的軟件選件
·分壓測量從1×10-4乇至2×10-14乇
Transpeor 2是基于四場的智能傳感器，傳感器電子驅(qū)動(dòng)加上微處理器安裝在一個(gè)附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內(nèi)。由于它是智能的傳感器，具有相當(dāng)?shù)撵`，您可以使用當(dāng)前的計(jì)算機(jī)或從INFICON選購PC和軟件包。兩種通訊鏈接，RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置，將Transpeor2連接控制計(jì)算機(jī)。簡單的指令協(xié)議支配Transpeor功能。
Transpwor XPR3氣體分析系統(tǒng) |
用Transpwor XPR3進(jìn)行工藝監(jiān)測可為您提供有關(guān)污染程度、出氣量值、氣體純度和設(shè)備運(yùn)行的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。 |
這個(gè)信息有助于產(chǎn)量與產(chǎn)額的化，由于問題的及時(shí)監(jiān)測與診斷而降低損耗，由于更地采取性維護(hù)程序，可設(shè)備的運(yùn)行時(shí)間。 |
TRANSPEOR XPR3的特點(diǎn) |
·新設(shè)計(jì)的離子源使污染的產(chǎn)生小化，從而延長使用壽命 和提供更清楚的訊號。 |
·新型EM在PVD工藝壓強(qiáng)下工作，提供更快速、清晰的數(shù)據(jù)收集和免除FC至EM的轉(zhuǎn)換，簡化數(shù)據(jù)的解譯過程。 |
·新型加長的四桿場可低質(zhì)量范圍的過濾能力，質(zhì)譜儀分辨同位素的靈敏度，從而氫的監(jiān)測靈敏度。 |
Transpwor XPR3是新一代的高壓強(qiáng)四場工藝氣體分析儀。它研發(fā)于先前INFICON系統(tǒng)成功的基礎(chǔ)上，在物理相汽沉積（PVD）檢測中具有高的靈敏度、度和靈。一系列技術(shù)上的使輕便型Transpwor XPR3的工作范圍從20耗乇至真空，無需大型負(fù)責(zé)的壓強(qiáng)轉(zhuǎn)換設(shè)備。 |
TRANSPEOR XPR3的應(yīng)用 |
·PVD工藝模塊 |
·預(yù)清洗模塊 |
·Non-cluter PVD設(shè)備 |
·Clamped的除氣模塊 |
