主要特征:
三軸導(dǎo)軌均采用天然花崗巖,具有相同的溫度特性及剛性
* 三軸導(dǎo)軌均采用高自潔式空氣軸承,運動更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損
* 單邊驅(qū)動活動橋式結(jié)構(gòu),顯著運動性能,測量及穩(wěn)定性
* Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,消除了運動扭擺,了測量及穩(wěn)定性
* 歐洲開放式金屬光柵尺,分辨率0.4 um
* 控制系統(tǒng)采用歐洲高自動控制系統(tǒng),該系統(tǒng)內(nèi)嵌32位微處理器,真正實現(xiàn)實時控制
* 三軸均采用大功率驅(qū)動器、電機及雙級減速裝置,傳動、準(zhǔn)確
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo):








