- 企業(yè)類型:制造商
- 新舊程度:全新
- 原產地:日本
特點:
*可調整光刻間距,限度的避免光刻板被污染。
*操作簡易,任何操作人員都能在短時間內熟練掌握。
*產能高于一般同行業(yè)競爭對手,可達80WPH;
*可調整光刻時間,調整光強,并可根據所需累計光量值自動補償光刻時間(無需人工調整)。
*更具客戶端的光刻工藝,可預先設定光刻頻道,可限度避免人為誤操作的產生。
應用:
*LED,半導體的芯片生產和研發(fā)。

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