產(chǎn)品介紹：BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及等離子體增強化學氣相沉積 （PEVCD）系統(tǒng)

用于反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及等離子體增強化學氣相沉積 （PEVCD）的等離子處理系統(tǒng)。

BM8-II是一款定義反應(yīng)離子刻蝕（RIE）及等離子體增強化學氣相沉積 （PEVCD）等離子處理新概念的等離子處理系統(tǒng)。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基于模塊化設(shè)計制造，采用一款通用的真空處理艙及機柜。等離子處理系統(tǒng)采用平板式電極、反應(yīng)離子刻蝕（RIE）電極及等離子體增強化學氣相沉積 （PEVCD）電極模塊化設(shè)計理念，方便整體系統(tǒng)的組裝及配置。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)帶給用戶方便操作，提供多種等離子處理工藝、方便維護及性價比高的反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積等離子處理系統(tǒng)，比業(yè)內(nèi)其它反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)更具競爭力。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-主要性能簡介

等離子工藝處理的研發(fā)需要多功能且可靠的等離子處理系統(tǒng)。為了滿足等離子研究日新月異的要求，用戶選購的系統(tǒng)設(shè)備滿足范圍的等離子工藝參數(shù)需要，工藝驗證需要極其高的可重復性，必須方便改造用于新的等離子工藝需要。我們相信BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)系列干法工藝等離子系統(tǒng)滿足這些非?？量痰囊?。. BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)是一款用于研究，工藝開發(fā)及其小批量生產(chǎn)的等離子系統(tǒng)工具，用于八英寸基片的等離子刻蝕及沉積。BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)可以在多片或單片處理模式下操作。

在設(shè)計BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)之初，主導指示就是創(chuàng)造一款融合高質(zhì)量、可靠、重復性及其用于生產(chǎn)系統(tǒng)的工藝控制能力為一體的等離子系統(tǒng)；同時極大的降低主機成本、維護成本及占地面積小等要求。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)具有獨特的機體結(jié)構(gòu)和電極設(shè)計，方便安裝在層流模塊中或是超凈間。BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的建造采用高質(zhì)量認可的部件、模塊化裝配、多功能真空艙體及其電極設(shè)計、結(jié)構(gòu)緊湊、自動化及業(yè)內(nèi)認可工藝程序使得BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)成為工藝工程師干法等離子處理設(shè)備。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-主要性能介紹

·        一體式真空艙體構(gòu)造

·        原位電極間距設(shè)計（PEVCD版）

·        可更換工藝氣體噴頭

·        業(yè)內(nèi)認可的工藝程序

·        高質(zhì)量業(yè)內(nèi)認可的主要部件

·        終點探測監(jiān)測（Endpoint detection選配）

·        多種電極配置

·        自動射頻（RF）匹配器

·        下游壓力控制（Downstream pressure control選配）

·        電腦控制，基于Windows編程

·        多款真空泵浦選配：機械泵、機械泵/風機，渦輪增壓泵浦

·        單真空艙及雙真空艙結(jié)構(gòu)

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-應(yīng)用

基于系統(tǒng)建造的高質(zhì)量處理模塊，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)滿足廣泛的等離子處理工藝條件，無論是復雜的亞微米級反應(yīng)離子刻蝕 （RIE）還是高質(zhì)等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）薄膜的沉積。以下是我們，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的典型工藝處理應(yīng)用，基與眾多客戶群的緊密協(xié)作，我們開發(fā)出業(yè)內(nèi)認可的工藝程序，保證系統(tǒng)滿足用戶所需。用于生產(chǎn)制造的系統(tǒng)設(shè)備均采用質(zhì)量的部件，保證，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)提供可能的正常運行時間、 可靠性、重復性及耐用性。

·         故障分析應(yīng)用（Failure analysis）

·        材料改性（Material modification）

·        粘合促進等離子descum

·        表面處理（Surface treatment）

·        各向異性各項同性及刻蝕（Anisotropic and isotropic etching）

·        金屬刻蝕（Metal etching）

·        Si02（二氧化硅）, Si3N4 （氧化硅）及 SiOxNy（氮氧化矽）薄膜沉積

·        II-V 刻蝕應(yīng)用（III-V etching）

·        溝槽刻蝕（Trench etching）

·        鈍化層刻蝕（Passivation etching）

·        聚酰亞胺刻蝕（Polyimide etching ）

·        亞納米級刻蝕（Submicron etching）

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)規(guī)格

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的廣泛使用得益于其高性價比，多功能設(shè)計模塊，提供其他同類反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)沒有的工藝優(yōu)勢。這些包括層流安裝占地面積小，多款電極配置，及其可滿足直徑8英寸（203毫米）基片處理等。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基本模塊

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)基本部件包括一款基于Windows的PC控制器及其菜單存儲、質(zhì)量流量控制的兩路通道控制（可擴展至六通道）、溫度補償式電容壓力計用于測量工藝真空度、100毫米真空通道用于工藝氣體電導、KF或ISO標準管件便于維護；及其它工藝及服務(wù)特性。工藝氣體導管未不銹鋼操作，配備VCE連接件。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-真空處理艙

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的真空處理艙采用整塊鋁合金建造成一體式設(shè)計。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）、等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）及平板電極系統(tǒng)均采用同樣的真空處理艙設(shè)計。真空處理艙上部包括一個電極，并且具有原位電極可調(diào)間距；真空艙下部包括基片電極，真空泵浦接口及氣體必要的真空閥及其真空監(jiān)控設(shè)備。自動升降臺抬舉真空艙上部便于接近底部電極。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-電極配置

反應(yīng)離子刻蝕（RIE）系列電極特別為達到低真空范圍的等離子性能設(shè)計。上部的不銹鋼電極包括噴頭式工藝氣體供應(yīng)系統(tǒng)。不銹鋼材質(zhì)底部電極通過可選配冷卻循環(huán)槽來控制溫度。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）陽極采用暗區(qū)屏障設(shè)計，使等離子在兩塊電極之間產(chǎn)生。等離子體增強化學氣相沉積（（PECVD ）電極采用類似的設(shè)計，但是鋁制底部基片電極可耐400℃高溫，而上部電極（通電電極）是采用水冷卻。鋁制電極具有氣體感應(yīng)端口，便于沉積工藝后的快速冷卻。對于（等離子體增強化學氣相沉積（PECVD ）應(yīng)用，上部電極的間距可以在25.40至89毫米之間調(diào)節(jié)。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-等離子電源

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的電源可匹配廣泛的功率及其等離子電源頻率。所有的電源采用固態(tài)、風冷式。電源功率從300至1250瓦特均有，射頻頻率從40KHz（中頻）至2.45GHz（微波）；系統(tǒng)標配為13.56MHz，600瓦特射頻電源?？蛇x配自動或手動匹配器。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-工藝處理真空泵浦

根據(jù)用戶的工藝需要，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)配備機械泵、機械泵及渦輪分子泵，或是帶魯氏鼓風機的機械泵。也可根據(jù)所需真空處理級別配備不同尺寸大小的真空泵浦。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-控制器

控制器采用電腦控制整個系統(tǒng)?；?span lang="EN-US">Windows的控制軟件采用多屏幕顯示系統(tǒng)設(shè)備控制、數(shù)據(jù)記錄、稱呼設(shè)定及存儲，系統(tǒng)連鎖應(yīng)需配備。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)-選配

為了增強BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)的工藝處理能力，BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)提供廣泛的工藝處理選項，包括終點檢測、水冷器（用于冷卻電極）、油霧分離器及吹掃系統(tǒng)、下周壓力控制、硬質(zhì)陽極氧化真空艙。工藝廢氣處理系統(tǒng)也可提供。應(yīng)離子刻蝕（RIE）/等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）任意結(jié)合的雙真空處理艙可以配置。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/等離子體增強化學氣相沉積（PEVCD）組合配置具有明顯的多功能性，其優(yōu)勢在于避免不同沉積工藝的交叉污染。

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)尺寸

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)重量

70~120公斤. (取決于具體系統(tǒng)配置).

BM8-II反應(yīng)離子刻蝕（RIE）/沉積（PEVCD）等離子處理系統(tǒng)安裝條件