- 產品型號:
- F50
- 測量范圍:
- 10nm-450um
F50透明/半透明膜厚測試儀
主要用于測試各種透明半透明的膜厚
品簡介:
1 F50 配備全自動R-θ和 X-Y工作臺,有 200mm和300mm兩種型號可供選擇,客戶也可提供所需尺寸。測量速率高達2點/秒,通過快速掃描功能,可取得整片樣品的厚度分布情況以及光學參數(shù)(n 、k),有五種不同波長選擇(波長范圍從紫外220nm至近紅外1700nm) ;
2 測量的薄膜厚度范圍從10nm到450um,為 0.1nm 。
主要特點:
1 操作簡單、使用方便;
2 測量快速、準確;
3 體積小、重量輕;
4 價格便宜。
應用領域:
1 半導體行業(yè): 光阻、氧化物、氮化物;
2 LCD 行業(yè): 液晶盒間隙厚度、 Polyimides;
3 光電鍍膜應用: 硬化膜、抗反射膜、濾波片;








