產品型號：

MFC800

測量范圍：

0-1500 m3/h

MFC800系列氣體質量流量控制器，為工業(yè)和科學研究領域長期可靠工作而設計。利用熱擴散原理及PID控制原理，測量和控制小管道的氣體質量流量輸出，不需要溫度和壓力補償。以性能可靠、安裝方便和價格合理得以大量應用。 產品特點 ☆用于多種氣體質量流量控制，如CO,Ar,CF4,O2,N2,H2,C2H4,C2F6,NF3,SIF4等 ☆測量范圍：從0-5sccm 至 0-1500slm ☆：1.0%F.S. ☆量程比：小100:1 ☆重復性：0.25% ☆響應時間：1.0S ☆過程溫度：0-50℃ ☆過程壓力：0-8MPa ☆供電：24VDC ☆輸出：0-5V,4-20mA,RS232 ☆管道材質：316L ☆連接標準：1/4英寸，3/8英寸，1/2英寸，3/4英寸 產品應用 l         實驗室，泄漏檢測 l         醫(yī)學，氣體合成 l         科學研究，過程控制 l         制藥，半導體工業(yè)