產(chǎn)品介紹: SW-A100此型儀器是給晶片定向的專(zhuān)用儀器。用于晶棒切割后，進(jìn)行晶片的角度測(cè)量。采用手工上下晶片，自動(dòng)測(cè)量角度方式，可保證晶體角度測(cè)量的準(zhǔn)確性。為切片工藝控制提供的保障。 產(chǎn)品特點(diǎn)： ■ 速度快，該儀器為自動(dòng)化測(cè)量?jī)x器。儀器為雙工作臺(tái)，分別測(cè)量晶片的端面及參考邊角度。雙側(cè)可同時(shí)進(jìn)行測(cè)量 ■ 誤差小，開(kāi)機(jī)校準(zhǔn)方式為6次自動(dòng)校準(zhǔn)儀器，限度地消除校機(jī)誤差 ■ 采用DC高壓模塊，具有峰值放大的特殊積分器，檢測(cè)高 ■ 可測(cè)量角度的范圍可根據(jù)需要設(shè)置掃描范圍，范圍為3度 ■ 操作簡(jiǎn)便，不需要知識(shí)和熟練的技巧 ■ 數(shù)字顯示角度，易觀察，出錯(cuò)率低 ■ 每次測(cè)量結(jié)果可以被記錄并保存，并可以隨時(shí)獲取測(cè)量角度的平均值 技術(shù)參數(shù)： 1．X射線發(fā)生器部分： ■ X射線管：銅靶，風(fēng)扇冷卻，陽(yáng)極接地 ■ 管電壓：30KVP，全壓合閘 ■ 管電流：0—5mA 連續(xù)可調(diào) ■ 輸入電源：?jiǎn)蜗嘟涣?span style="font-family: Times New Roman;">220V，50Hz ■ 整機(jī)總耗電功率不大于0.3 KW 2．測(cè)角儀部分： ■ 晶片直徑:2-8英寸 ■ 度、分、秒顯示方式：±15″，小讀數(shù)1″ ■ 測(cè)試范圍2θ角：-5～+110° ■ 定向：±30″ 3．外型尺寸：1132（長(zhǎng)）×642（寬）×1200（高）mm。 4．重量：300kg； 典型客戶: 臺(tái)灣及國(guó)內(nèi)藍(lán)寶石及半導(dǎo)體客戶。
北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司研究院
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