產(chǎn)品簡(jiǎn)介 NCS-R90 無接觸方塊電阻測(cè)試系統(tǒng)是一款廣泛應(yīng)用于太陽能電池片制造過程中對(duì)表面方塊電阻進(jìn)行無損測(cè)量的儀器。該儀器適用于Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料，所有的設(shè)計(jì)都符合ASTM(美國(guó)材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會(huì))和Semi標(biāo)準(zhǔn)，確保與其他工藝儀器的兼容與統(tǒng)一。 產(chǎn)品特點(diǎn) ■ 無接觸無損傷測(cè)量 ■ 適用的晶圓材料包括Si，GaAs，InP，Ge等幾乎所有的材料 ■ 抗干擾強(qiáng)，穩(wěn)定性好 ■ 強(qiáng)大的工控機(jī)控制和大屏幕顯示 ■ 一體化設(shè)計(jì)操作更方便，系統(tǒng)穩(wěn)定 ■ 為晶圓硅片關(guān)鍵生產(chǎn)工藝提供的無接觸測(cè)量 ■ 使用MTI Instruments獨(dú)有的推/拉技術(shù) ■ 能適應(yīng)淺結(jié)測(cè)試 ■ 不會(huì)穿透PN結(jié) 技術(shù)指標(biāo) ■ 測(cè)試尺寸：50mm- 300mm. ■ 測(cè)量范圍：5-2000ohm/sq ■ 測(cè)量：2% ■ 測(cè)量重復(fù)：1%
北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司研究院
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