儀器簡(jiǎn)介：

Quanta FEG系列場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡是FEI公司的新產(chǎn)品之一。是在FEI公司產(chǎn)品XL30 EM-FEG場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的。

Quanta FEG場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描電子顯微鏡綜合場(chǎng)發(fā)射電鏡高分辨和EM環(huán)境掃描電鏡適合樣品多樣性的優(yōu)勢(shì)，可對(duì)各種各樣的樣品（包括導(dǎo)電樣品、不導(dǎo)電樣品、含水含油樣品、加熱樣品等等）進(jìn)行高分辨的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)觀察和分析。

Quanta FEG和Quanta一樣具有優(yōu)異的系統(tǒng)擴(kuò)展性能，可同時(shí)安裝能譜儀、波譜儀、EBSP、陰熒光等附件。

技術(shù)參數(shù)：

1.分辨率：

　二次電子:

　　高真空模式1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV

　　高真空減速模式2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可選項(xiàng))

　　低真空模式1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV

　　環(huán)境真空模式1.4nm @ 30kV

　背散射電子:

　　高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV

　掃描STEM探測(cè)器:

0.8nm @ 30kV

2.加速電壓200V～30kV,連續(xù)可調(diào)

3.高穩(wěn)定性Schottky場(chǎng)發(fā)射電子

4.束流200nA

5.樣品室壓力達(dá)4000Pa

6.樣品臺(tái)移動(dòng)范圍

Quanta 250 FEG: X=Y=50mm

Quanta 450 FEG: X=Y=100mm

Quanta 650 FEG: X=Y=150mm

主要特點(diǎn)：

1.數(shù)字化系統(tǒng)控制，Windows XP操作系統(tǒng)

2.場(chǎng)發(fā)射環(huán)境掃描系統(tǒng)兼顧高分辨和樣品多樣性

3.數(shù)字電影功能可將觀察過(guò)程記錄為avi視頻文件

4.穩(wěn)定的大束流(200nA)、準(zhǔn)確的能譜、波譜和EBSD分析

5.可安裝冷臺(tái)、加熱臺(tái)、拉伸臺(tái)等進(jìn)行樣品原位、動(dòng)態(tài)觀察和分析