- 產(chǎn)品品牌：
- Filmetrics
- 產(chǎn)品型號：
- F30
- 測量范圍：
- 15nm-250μm
薄膜測量領域的#1品牌
F30 監(jiān)控薄膜沉積速率的強大工具
F30可以對薄膜的沉積率、膜厚、光學常數(shù)（n和k值），半導體和電介質(zhì)的均勻性進行實習的檢測。
可測樣品膜層：
在MBE(分子束外延)和MOCVD(金屬有機化合物化學氣相淀積)技術中，F(xiàn)30對光滑的，半透明的或輕度吸光的膜層都可能實現(xiàn)測量。這實際上包括了從AIGaN(氮化鎵鋁)到GaInAsP(鎵銦磷砷)的所有半導體材料。
優(yōu)勢：
安裝簡便—幾分鐘即可完成系統(tǒng)安裝
非侵入式測量—測量完全在晶體沉積腔外
速度快—僅需幾秒鐘即可完成測量高—誤差低于+/-1%
低成本—幾個月即可收回成本
使用方便—極大的提高了生產(chǎn)速度
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