特點：
?價格低
?易操作
?磁控濺射頭
?緊湊設計
?快速循環(huán)時間（典型為2-3分鐘）
?可選碳絲蒸鍍
?樣品臺高度可調
?快速換靶（標配為金/鈀合金）
?合新的標準：包括機電互鎖，以使用鍍碳附件時濺射頭斷電
?耐用
SC7620適合預算有限、需要高質量鍍膜、儀器易操作的用戶。對于常規(guī)應用, SC7620具有φ100㎜(4″)的玻璃腔室，使用磁控濺射頭，帶有易更換的圓片靶（標配為金/鈀合金）。濺射頭為方便的鉸鏈式，并具有電互鎖裝置。高壓電纜帶有屏蔽功能，以意外損壞。通過氬氣針閥調整真空度，以改變等離子電流；氣體注入系統(tǒng)可預設等離子放電。
備：推薦使用50 l/m 雙級旋轉機械泵（E5005F），隨機配有油霧過濾器。如果想使用已有的旋轉機械泵，它的容量為50 l/m 或更優(yōu)是重要的。