Varian分子泵的產(chǎn)品型號：
| 產(chǎn)品型號 | V81M分子泵 | V81T分子泵 | V301分子泵 | V551分子泵 | V701分子泵 | V1001分子泵 |
| 轉(zhuǎn)速 rpm | 80000 | 80000 | 56000 | 42000 | 42000 | 38000 |
| 進(jìn)氣口法蘭 | 40/63 | 40/63 | 100/160 | 100/160 | 200 | 160/200/250 |
| 出氣口法蘭 | 16 | 16 | 16 | 25 | 25 | 40 |
| 抽速L/s N 2 | 50/77 | 50/77 | 250/280 | 350/550 | 690 | 790/950/1050 |
| 壓縮比 N 2 | 5× 108 | 7× 108 | 7×108 | ＞ 1× 109 | 1× 109 | 1× 109 |
| 限壓強(qiáng) mbar | 5×10-10 | 5×10-9 | ＜5×10-10 | ＜1×10-10 | ＜1×10-10 | ＜1×10-10 |
| 啟動時(shí)間 min | ＜ 1 | ＜ 1 | 2.5 | ＜ 5 | ＜ 5 | ＜ 4 |
| 電源 | 220V | 220V | 220V | 220V | 220V | 220V |
Varian的分子泵幾乎涵蓋了可能的應(yīng)用領(lǐng)域，的機(jī)電一體化的設(shè)計(jì)，具有前級耐壓高的特性，適用于10－10-10毫巴的真空環(huán)境。Varian的分子泵主要具有以下顯著優(yōu)點(diǎn)：
1. 豐富的產(chǎn)品范圍：覆蓋可能的應(yīng)用及市場各個(gè)層面。
2. MacroTorr技術(shù)：抽氣量化；將前級耐壓能力到18 bar；壓縮比數(shù)個(gè)數(shù)量級。
3. 整體加工的轉(zhuǎn)子：每個(gè)轉(zhuǎn)子單塊鋁合金加工而成，重量小化；分子泵可以在360度范圍內(nèi)以任意角度工作而無需任何調(diào)整，降低了作用在材料和軸承上的壓力。
4. 高性，免維護(hù)的陶瓷軸承：無油，無污染；平均無故障時(shí)間大大增加。
內(nèi)置控制器可用采用導(dǎo)航控制：簡單并節(jié)省空間的配置；導(dǎo)航軟件可以輕松地進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)控。
Varian的分子泵其他特色說明：
Turbo-V 2K-G是一款專為針對工業(yè)應(yīng)用濺射鍍膜領(lǐng)域設(shè)計(jì)開發(fā)的分子泵。其各抽氣級甚至整個(gè)泵的結(jié)構(gòu)，都是以能在較高氬氣負(fù)載和溫度條件下保持抽氣性能為目標(biāo)來優(yōu)化設(shè)計(jì)的，它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性。
● Varian分子泵的拖動級設(shè)計(jì)
拖動級由一體化的兩層盤片組成，這樣的設(shè)計(jì)大大了散熱效率，因而程度地降低了泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的內(nèi)部溫度。了在高壓強(qiáng)下對氬氣抽氣時(shí)仍保持大抽氣量。
● Varian分子泵內(nèi)置的充氣及放氣裝置
充氣及放氣閥集成于泵內(nèi)，充氣保護(hù)及放氣過程的控制由內(nèi)部電路 驅(qū)動完成，需要任何部件置于泵體外部。
● Varian分子泵內(nèi)置的檢測系統(tǒng)
TV－2KG配備了的溫度控制系統(tǒng)，使其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控泵的氣載，功率，及冷卻水溫度，了材料負(fù)荷及軸承負(fù)荷在范圍內(nèi)工作。
● Varian分子泵內(nèi)置型具有水性能的電路系統(tǒng)
TV－2KG的電路系統(tǒng)，都置于泵的底殼內(nèi)，具有水特性，合IP54規(guī)范。
● Varian分子泵一體化機(jī)型
分子泵集成了驅(qū)動電源，氣體保護(hù)配置，模擬I/O信號 RS232接口。
