蘇州工業(yè)園區(qū)鴻基潔凈科技有限公司
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工作原理：
空氣通過高效過濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
主要特點：
1、能準確的使石墨舟承載裝片車定位；
2、采用不銹鋼制造，整機結(jié)構(gòu)堅固可靠；
3、采用GK系列高效空氣過濾器3只；
4、PECVD承載車在里面可傾斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；
5、凈化風(fēng)機噪音小于50dB。
6、保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的潔凈度100級。
