品名 激光功能帶紅外觀察 光學顯微鏡
型號 SOM3355-IR
概要 是半導體的失效點定位，提高半導體生產的良率的有效手段之一。它運用了紅外線的技術，從晶圓的背面進行失效點的觀察并運用激光對觀察到的失效點進行定位，從而大大的縮短了用FIB對失效點進行定位的時間。
特長
1. 紅外/可視觀察對應(顯示倍率3200倍/17型液晶顯示器上)。
2. 激光標識功能(波長 532nm/355nm)。
3. 搭載了300mm片對應樣品臺(X,Y,R)。與SMI系列共通的樣品托架。
4. 對去除聚酰亞胺膜也有効。
5. 通過選配的聯(lián)動軟件，讀取從缺陷檢查儀器的位置坐標數據，對異物的對象也能夠導航。
6. 通過選配的CAD導航連鎖軟件，與CAD的布局信息聯(lián)動。與坐標調整聯(lián)動，工作臺向布局顯示位置移動。
產品規(guī)格
激光532nm/355nm
接物鏡5x/20x/50x/100x/50x(355nm用)
樣品臺 300mm片對應(X,Y,R),與SMI的共通的樣品托架
與SMI系列的聯(lián)動功能:50mm/200mm/300mm對應
自動對焦系統(tǒng):紅外觀察對應數碼CCD攝像頭
標準選配
• 缺陷檢查儀器聯(lián)動功能
• CAD導航功能
