產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
該MicroSpy型產(chǎn)品是一款用于物體表面2D或3D的非接觸式測(cè)量的，且物美價(jià)廉的單傳感器光學(xué)表面形貌儀。該設(shè)備不可用于研發(fā)部門，同樣也可以用于技術(shù)、汽車、半導(dǎo)體、PV、微機(jī)電、光學(xué)等工業(yè)生產(chǎn)控制中。
測(cè)量原理：
MicroSpy表面形貌儀使用色差來判斷距離（chromatic distance measurement）的測(cè)量原理。通過一個(gè)對(duì)波長(zhǎng)很敏感的焦距測(cè)量頭，設(shè)備將白光聚焦于待測(cè)物體表面。物體表面散射光的光譜在分光計(jì)上產(chǎn)生一個(gè)峰值，然后該波長(zhǎng)的峰值就被用于檢測(cè)樣品表面的高度。該測(cè)量設(shè)備可以用于檢測(cè)透明性、高反射性甚至是吸光性材料的表面形貌。
基本參數(shù)：
● 測(cè)量系統(tǒng)參數(shù)：
測(cè)量原理：干涉法測(cè)量/反射法測(cè)量
系統(tǒng)設(shè)計(jì)：顯微鏡配合X、Y方向平臺(tái)，干涉或反射傳感器，帶照明的面陣CCD
樣品定位：精密的145mm×145mm的可電動(dòng)調(diào)節(jié)平臺(tái)，移動(dòng)范圍50mm×50mm(X、Y)
鏡頭調(diào)節(jié)：手動(dòng)的粗調(diào)加細(xì)調(diào)的調(diào)節(jié)方式，上下調(diào)節(jié)的范圍為80mm
儀器尺寸：58cm×25cm×40cm(高，寬，長(zhǎng))
整機(jī)重量：20Kg
供電電源：100－240V，50-60Hz，220W
● 薄膜厚度傳感器選擇：
FTR VIS FTR NIR FTR VIS/NIR FTR UV/VIS FTR UV/VIS/NIR
測(cè)量范圍： 50-20μm 70-70μm 50-100μm 10-20μm 10-70μm
膜厚分辨率： 1nm
橫向分辨率： 不使用額外光學(xué)器件200μm-800μm (使用額外光學(xué)器件10μm)
測(cè)量角度： 90o±5o
工作距離：約5mm
波長(zhǎng)范圍： 400-850nm 650-1100nm 400-1100nm 250-850nm 250-1100nm
光 源： 鹵素?zé)?nbsp; 鹵素?zé)?nbsp; 鹵素?zé)?nbsp; 氘燈 氘燈
● 標(biāo)準(zhǔn)膜厚傳感器選擇：
CWL FT 10μm3 CWL FT 10μm3 CWL IR 500 CWL IR 1000
測(cè)量范圍： 3-8μm 3-8μm 34-1900μm 60-3500μm
膜厚分辨率： 10nm 10nm 100nm 100nm
橫向分辨率： 5μm 20μm 6.5μm 6.5μm
測(cè)量角度： 90o±10o 90o±5o 90o±7o 90o±7o
工作距離： 9.5mm 27mm 19.4mm 19.4mm
光 源： LED(白光) LED(白光) IR-LED(1300nm) IR-LED(1300nm)
● 軟件包
數(shù)據(jù)采集軟件： 操作簡(jiǎn)單，樣品表面實(shí)時(shí)成像圖片，自動(dòng)操作
數(shù)據(jù)分析軟件： 分析2D及3D表面的膜厚及形貌，并可建立評(píng)估函數(shù)
實(shí) 驗(yàn) 報(bào) 告： 用戶可自定義樣式，及用戶可根據(jù)使用者的輸入情況自行輸入額外的信息
