產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

    該款表面輪廓儀用于測(cè)量物體材料的光學(xué)性能、薄膜厚度及表面形貌，尤其是在半導(dǎo)體及平板顯示器行業(yè)中，它能對(duì)其微細(xì)模式化進(jìn)行調(diào)整。K-MAC的3D形貌儀，OV-SPI500， 它使用白光掃描干涉法來(lái)進(jìn)行率的非接觸、非破壞式測(cè)量。高重復(fù)性及較少的測(cè)量時(shí)間使得OV-SPI500很適合于實(shí)時(shí)的過(guò)程監(jiān)控，其測(cè)量結(jié)果通過(guò)一個(gè)垂直分辨率為納米級(jí)的探頭來(lái)進(jìn)行3D的圖形匹配并顯示出來(lái)。尤其是該設(shè)備將薄膜厚度、折射率及尺寸測(cè)量于一體，這就使得OV-SPI500能應(yīng)用于多種測(cè)量場(chǎng)合中。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

● 使用光譜反射計(jì)的光學(xué)測(cè)量原理

● 膜厚、折射率、尺寸測(cè)量于一身

● 非接觸、非破壞式測(cè)量

● 2D及3D的圖形數(shù)據(jù)顯示

● 能夠用于實(shí)時(shí)測(cè)量

● LED光適配器

● 亞納米級(jí)的垂直分辨率

● 能夠應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示板、電子材料等行業(yè)

基本參數(shù)：

● 3D測(cè)量：
     掃描范圍：100μm (擴(kuò)展型的掃描范圍可達(dá)200μm)
     垂直分辨率：0.1nm
     橫向分辨率：在50×透鏡下，為0.2μm (像素分辨率)
     可是測(cè)量面積(FOV)：940μm ×710μm  (5×透鏡，即0.5×套管透鏡 10×干涉透鏡)
     晶片尺寸：4''~12"
     3D CCD：8位
     透鏡：10×、20×、50× (套管鏡頭，0.5×、1×、1.5×)

● 薄膜厚度測(cè)量：
      波長(zhǎng)范圍：400nm-800nm
      理論分辨率：1nm
      光斑尺寸：40μm (M5×)、20μm (M10×)、10μm (M20×)
      測(cè)量速度：小于 2秒/點(diǎn) (不移動(dòng))
      測(cè)量范圍：100?-35μm (取決于材料類型)
      多層測(cè)量：±5? at 5000?